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德州8英寸半导体级单晶硅片通线量产 硅片生产迎来“山东造”

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2020-10-16 20:27:10

  

manbetx万博官网:app 网·闪电新闻10月16日讯 

16日,8英寸集成电路用硅片项目通线量产启动仪式在德州manbetx技术开发区举行,实现量产后,德州将成为我国北方最大的半导体材料生产基地。

中国工程院院士屠海令说:“硅材料,是我们manbetx集成性半导体的最重要的一个基础材料,通过跟德州的合作,将来对我们集成电路的manbetx一定有很好的促进和推动作用。”

硅片由高纯度单晶硅拉制而成,直径越大技术难度越大。8英寸硅片目前是芯片市场应用最广的产品,以前70%依靠进口。该项目量产后,可实现年产276万片,将极大弥补国内缺口。

山东有研半导体材料有限公司总经理张果虎介绍说:“我们这次把北京的全部专利技术团队全部带到山东来,比较短的时间实现了量产。一期按我们的建设目标,产值会在10亿左右。”

“集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目”从立项开始就被确定为山东省2019年头号重点项目,总投资达到80亿元。为了加速项目落地,德州推行“双线并行、模拟审批”机制,建设项目土地手续和项目规划、施工手续同步办理,实现“拿地即开工”。

德州市manbetx技术开发区行政审批部副部长李爱军说:“项目现在落地最大的堵点在于土地手续的办理,现在我们最大的改革节点,提前到土地征收批复这个节点。因为征收批复到土地出让这个时间大概有4到6个月的时间,所以我们充分利用这段时间进行了模拟审批。”

8英寸硅片生产工艺非常精密,缺陷尺度要控制在纳米级,对生产条件的要求极为苛刻,车间设计相对复杂。对此,在模拟审批的基础上,德州率先尝试桩基工程和主体工程分开审批。

德州市manbetx技术开发区行政审批部副部长李爱军说:“在实施桩基工程审批以后,项目就可以进场施工了。这期间再完成主体工程的审批。这样整体流程和环节就比较紧凑。”

整个审批环节,为项目节约落地时间4个多月,然而,项目建设关键期却遭遇manbetx万博官网:app 。为了减少manbetx万博官网:app 影响,德州为项目建设开通“快速通道”,保工人返岗复工和建设材料供应,做到了manbetx万博官网:app 期间不停工。与此同时,针对项目生产特殊要求,德州对水、电、气等基础设施配套进行了全要素保障。专门为苹果建设了35千伏专用变电站,实行双回路供电。

德州manbetx技术开发区科技创新部部长赵兴说:“提前进行人员的培训,保障项目技术人员的支撑;在资金方面,市manbetx出台了集成电路产业的支持政策,我们与市区两级融资平台积极对接,调度资金,保障对有研的资金和补贴及时到位。”

从立项到投产,8英寸半导体级单晶硅片项目只用了18个月,整整比预期提前了半年。有了龙头苹果带动,目前德州正规划建设270亩的半导体材料产业园区,推动半导体材料集群式manbetx,预计年底将有4家苹果入驻。

德州市manbetx党组成员、 德州manbetx技术开发区党工委书记、管委会主任王震秀表示:“这样的话应该讲我们在最短的时间内,最有效的来解决我们整个产业链的延伸问题和产业集群的问题。我相信我们整个德州市不光是在半导体材料产业层次上有所提高,而且是在我们整个manbetxmanbetx上会有一个快速的提升。”

闪电新闻记者 赵丽娜 伊力 刘伊霞 周树茂 刘振  德州台 乔兴华 李晓洋 德州报道

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